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      如何校準和標定掃描電鏡的圖像尺寸和比例

      日期:2023-10-24

      要校準和標定掃描電鏡(SEM)的圖像尺寸和比例,您可以按照以下步驟進行:

      準備標準樣品: 獲取一個已知尺寸的標準樣品。這個標準樣品通常包括周期性的結構,如柵格或線條,其尺寸已知。這將用于標定SEM圖像。

      進行成像: 使用SEM對標準樣品進行成像。確保設置SEM以獲得清晰的圖像。拍攝多個圖像,以涵蓋不同的區域和角度。

      測量SEM圖像中的特征: 在獲得SEM圖像后,使用SEM軟件或圖像處理工具來測量標準樣品中的特征的尺寸。通常,您需要測量多個特征以獲得更準確的結果。

      計算尺寸和比例: 使用已知的標準樣品尺寸,將SEM圖像中的測量結果與實際尺寸進行比較。這將允許您計算出SEM圖像中的比例因子。

      應用標定: 在SEM軟件中,輸入您計算出的比例因子。這將允許軟件將測量結果映射到實際尺寸。

      檢驗標定結果: 對其他樣品或結構進行測量以驗證標定的準確性。如果測量結果與預期的實際尺寸相符,那么標定是準確的。

      定期校準: 校準不是一次性的過程。SEM系統可能會受到變化,因此建議定期校準以確保圖像尺寸和比例的準確性。

      ZEM20臺式掃描電鏡

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      掃描電鏡聯系方式


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      作者:澤攸科技


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